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EMS1050 低温灰化仪

应用领域:

l  生物芯片领域

l  医用材料、光学材料研究

l  电子半导体领域

l  高分子材料研究

l  电化学、高端零部件处理

l  有机材料的灰化、刻蚀

 

 

 

仪器性能:

l  自动调频高频发生器

l  内置旋转真空泵

l  此系统通常使用氧及氩的混合气体,氧去除有机物质(碳氢化合物),氩对样品表面进行刻蚀

l  低温等离子灰化、刻蚀、清洗 (0-150 watts RF)

l  真空监测.

l  双重气流针阀控制

l  精确时间定时

l  微处理器程序设置

l  LCD状态数字显示

l  腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,样本操作方便

l  聚碳酸脂安全防护  

 

技术参数:

体积

450mm(W)x350mm(D)x300mm(H)

工作腔室

派热克斯玻璃 160mm(L)x110mm(Dia.)

(硼硅酸盐玻璃为标准配置)

重量

25Kg

等离子体输出

最大150w,13.56 MHz 。

 

 

真空度

>ATM to 1 x 10-5mbar;通常 0.5 mbar to 1.0 mbar.

时间控制

最长可设置99小时59分钟

双重气流控制

双重针阀气流控制,可选1种或2种气体(校准 5-100cm3/min air at A.T.P)

电源

230 V, 50Hz (3 amp Max)

 

订购信息:

货号

产品名称

规格

93000

EMS 1050 低温灰化仪

91005-F

Rotary Vacuum Pump (Fomblin)

 

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